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半導體氣體過濾器
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MF系列儀器保護專用過濾器_半導體過濾器

  • MF系列儀器保護專用過濾器、全金屬材質(zhì)、專為半導體氣體分配系統(tǒng)設計、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲、守護敏感氣體組件、延長設備壽命、預防因微粒污染導致的泄露風險??蛇x擇低壓型或高壓型、也可在現(xiàn)有配管上安裝、為精密設備提供經(jīng)濟高效的防污屏障。產(chǎn)品特點1、整體3
  • 產(chǎn)品詳情

MF系列儀器保護專用過濾器、全金屬材質(zhì)、專為半導體氣體分配系統(tǒng)設計、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲、守護敏感氣體組件、延長設備壽命、預防因微粒污染導致的泄露風險??蛇x擇低壓型或高壓型、也可在現(xiàn)有配管上安裝、為精密設備提供經(jīng)濟高效的防污屏障。

產(chǎn)品特點

1、整體316L不銹鋼結(jié)構

2、可以作為表面密封的過濾器、所以不需要額外的工作(切割/焊接管道用于過濾器安裝)

3、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

技術參數(shù)

 

濾芯材質(zhì)     316L不銹鋼粉末燒結(jié) 殼體/墊片材質(zhì)  316L不銹鋼
表面處理     內(nèi)表面    拋光+電解Ras0.2um 最高使用溫度    400°C
  外表面      Ra < 1.бum  
顆粒攔截粒徑  ≥99.9999999%(9LRV)@100slpm
 (參考MPPS,所有顆粒)
 顆粒攔截粒徑  20.3um


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