VCR(Vacuum Coupling Retainer)過濾墊片氣體管路密封限流接頭是一種用于氣體管路連接的部件。它主要起到密封、過濾和限流的作用。
密封功能:在氣體管路系統中,確保連接部位的氣密性至關重要。VCR 接頭通過高精度的加工和特殊的密封結構,能夠有效防止氣體泄漏。其密封原理通常是利用金屬墊片在接頭擰緊時發(fā)生彈性變形,填充連接面的微小間隙,從而達到密封效果。例如,在半導體制造的高純氣體輸送管路中,哪怕是微小的泄漏都可能導致產品質量下降,VCR 接頭的良好密封性能就可以避免這種情況。
過濾功能:過濾墊片是其重要組成部分。它可以過濾掉氣體中的微小顆粒雜質。在一些對氣體純度要求很高的行業(yè),如制藥、電子芯片制造等,氣體中的雜質可能會對生產過程產生嚴重影響。例如,在制藥行業(yè)的無菌氣體輸送中,過濾墊片可以攔截細菌、灰塵等雜質,保證輸送的氣體符合生產要求。
限流功能:能夠對氣體的流量進行一定程度的限制和調節(jié)。這在需要精確控制氣體流量的實驗或生產過程中非常重要。比如在化學實驗的氣體反應過程中,通過 VCR 接頭可以按照實驗要求精確控制反應氣體的流量,以確保反應的穩(wěn)定性和可重復性。
應用領域:
半導體制造:在半導體生產過程中,需要輸送大量的高純氣體,如氫氣、氮氣等。VCR 過濾墊片氣體管路密封限流接頭可以確保氣體的純度,防止雜質進入生產設備,同時精確控制氣體流量,保證芯片制造過程的穩(wěn)定性和可靠性。
產品參數
濾芯材質 | 316L不銹鋼粉末燒結 | 殼體/墊片材質 | 316L不銹鋼 | |
表面處理 | 內表面 | 拋光+電解Ras0.2um | 最高使用溫度 | 400°C |
外表面 | Ra < 1.бum | |||
顆粒攔截粒徑 | ≥99.9999999%(9LRV)@100slpm (參考MPPS,所有顆粒) | 顆粒攔截粒徑 | 20.3um |